يبحث
saما هي رقاقة الياقوت في الواقع؟
رقاقة الياقوت عبارة عن قرص رفيع من أكسيد الألومنيوم أحادي البلورة تم توجيهه إلى مستوى بلوري، ويتم نزع قلبه من كرة كبيرة، وتقطيعه إلى شرائح، وتصفيته، وصقله إلى سماكة، واستواء، وسطح نهائي يمكن التحكم فيه.
الياقوت ليس زجاجًا ولا طلاءًا. إنها مادة Al2O3 البلورية، وهي مادة اكسيد الالمونيوم، ولهذا السبب تجمع الرقاقة النهائية بين صلابة Mohs 9 مع فجوة نطاق قريبة من 8.6 فولت وناقل حركة مفيد من حوالي 0.19 إلى 5.5 ميكرومتر.
التوجيه هو القرار الأول في أي رسم، لأنه يحدد ما يمكن زراعته على السطح وكيف تتصرف الرقاقة تحت الحمل الحراري.
- c-plane (0001): الإعداد الافتراضي لـ GaN LED وmicroLED epitaxy، حيث يتطابق السطح السداسي مع طبقة epilayer.
- مستوى r: يستخدم للسيليكون على الياقوت، حيث يتم ترسيب طبقة رقيقة من السيليكون بشكل متغاير الفوقي.
- المستوى a والمستوى m: توجهات بحثية غير قطبية، متاحة ولكن من الصعب صقلها بنفس الخشونة.
- القطع: 0.2 درجة باتجاه المحور A هو طلب MOCVD شائع، بينما تظهر 4 درجات في عمل جهاز محدد. أمسك التسامح بإحكام، لأن الانحراف المقطوع يغير بنية الخطوة أثناء النمو.
القطر والسمك يسافران معًا. الأحجام الشائعة هي 50.8 مم، 100 مم، 150 مم، و200 مم، مع ارتفاع السمك من حوالي 430 ميكرومتر عند 2 بوصة إلى 650 ميكرومتر عند 4 بوصة وما فوق 1 مم عند 6 بوصة، وذلك ببساطة لأن القرص الرقيق من البلورة الهشة لن يتحمل التعامل الروتيني.
رقائق الياقوت بأقطار وسماكات مشتركة قم بمراجعة خيارات رقاقة الياقوت أحادية البلورة من 2 إلى 8 بوصات، مع مواصفات السماكة والسطح والتسطيح للركائز الإلكترونية الضوئية وLED. عرض المنتج → من البولي إلى الويفر الجاهز للتحصين
يتم إنتاج رقائق الياقوت على ست مراحل، وكل مرحلة تترك بصمة في الشهادة التي تأتي مع الكمية.
المواصفات التي تقرر العائد
هناك أربعة أرقام تحدد معظم قرارات القبول: اختلاف السُمك الإجمالي، والانحناء والالتواء، وخشونة الجانب الأمامي، وتحمل الاتجاه. كل شيء آخر في الرسم يدعم هؤلاء الأربعة.
| المعلمة | برنامج التحصين الموسع والصمام الصف | الصف البصري | الأدلة على الطلب |
| التوجيه والقطع | طائرة C مع إزاحة 0.2 درجة | ج-الطائرة أو لكل رسم | مسح حيود الأشعة السينية |
| القطر | 100 ملم زائد أو ناقص 0.2 ملم | لكل رسم | خريطة رقاقة الحافة |
| سمك | 650 ميكرومتر زائد أو ناقص 25 | 1 ملم إلى 5 ملم | سمك map across the wafer |
| اختلاف السماكة الكلية | 10 ميكرومتر أو أقل | 2 ميكرومتر فوق الفتحة | نوع المسبار ومنطقة المسح |
| القوس والاعوجاج | 25 ميكرومتر أو أقل | استواء ربع الموجة | طريقة التركيب والدعم |
| خشونة الجانب الأمامي | Ra 0.2 نانومتر، جاهز للتحصين | را 1 نانومتر أو أفضل | حجم المسح AFM |
| الانتهاء من الجانب الخلفي | محفورا أو مصقول | أرض جيدة | الانتهاء المذكور على الشهادة |
| الملف الشخصي الحافة | أرض مستديرة مع الشطب والشق | حافة مصقولة | صورة اتجاه الشق |
الياقوت والسيليكون والكوارتز جنبًا إلى جنب
الياقوت هو الركيزة التي يجب اختيارها عندما يتعين على الرقاقة أن تتحمل الحرارة أو الكيمياء أو الضوء، وليس عندما يتعين عليها توصيل الكهرباء.
- درجات حرارة النمو التي تزيد عن 1000 درجة مئوية تستبعد حاملات البوليمر والزجاج منخفض الجودة.
- يجب أن يظل السطح شفافًا من المرئي إلى منتصف الأشعة تحت الحمراء.
- إن المقاومة الكيميائية ومقاومة الخدش مهمة أكثر من تكلفة السنتيمتر المربع.
- يحتاج الجهاز إلى ركيزة عازلة ومنخفضة الفقد عند الترددات الراديوية.
- ويجب أن تحمل الرقاقة نفسها تيارًا، حيث يكون السيليكون أبسط وأرخص بكثير.
- مطلوب انتقال عميق للأشعة فوق البنفسجية أقل من 190 نانومتر، حيث يمتص الياقوت.
- انتشار الحرارة هو العامل المحدد في مجموعة عالية الطاقة.
- لا يمكن للميزانية استيعاب الركيزة التي يزيد سعرها عدة مرات عن رقاقة السيليكون ذات القطر نفسه.
الرقم الحراري هو الذي فاجأ فرق التصميم. يوصل الياقوت الحرارة أسوأ بأربع مرات من السيليكون، وأفضل بحوالي 25 مرة من الكوارتز المنصهر، وهو أمر عملي بالنسبة لباعث واحد منخفض الطاقة ومؤلم لمجموعة كثيفة عالية الطاقة. هذه الخاصية الواحدة تثير الكثير من الاهتمام بالركائز المنقوشة، ونقل الأغشية الرقيقة، وربط الرقاقات.
رقائق الكوارتز للتطبيقات البصرية وأشباه الموصلات قارن بين رقائق الكوارتز عالية النقاء والتمدد الحراري المنخفض وشفافية الأشعة فوق البنفسجية إلى الأشعة تحت الحمراء القريبة لاستخدامات الدليل الموجي والأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة وأشباه الموصلات والمكونات البصرية. عرض المنتج → حيث تكسب رقائق الياقوت ثمنها
تدفع ركائز الياقوت تكاليفها في أربع عائلات تطبيقية، لكل منها مواصفات مهيمنة مختلفة.
GaN LED وmicroLED epitaxy
تحمل رقائق الطائرة c مقاس 2 إلى 6 بوصات المكدس الباعث للضوء. يؤثر التحكم في القطع وخشونة الجانب الأمامي على جودة البلورة، وبالتالي على كفاءة الكم الخارجية، أكثر من أي معلمة واردة أخرى.
تردد الراديو والسيليكون على الياقوت
تعمل الركيزة العازلة على قطع السعة الطفيلية في المفاتيح والمرشحات. هنا يهيمن على الرسم توحيد السُمك واستواء السطح بدلاً من النقل البصري.
النوافذ البصرية وأغطية أجهزة الاستشعار
الياقوت transmits from the visible to about 5.5 micrometers and resists scratching in abrasive environments, so it appears in infrared windows, LiDAR covers, and hardened camera ports. The range of sapphire wafer applications across electronics and optics goes well beyond lighting.
رقائق الناقل والزائفة
تعيد العمليات ذات درجات الحرارة المرتفعة استخدام حاملات الياقوت لأن المادة لا تلين أو تخرج الغازات. تعمل عملية إعادة التلميع على إطالة عمر الخدمة حيث تسمح قواعد التلوث بذلك.
الياقوت Optical Windows for Protective and Filtering Uses شاهد ركائز نوافذ الياقوت التي توفر مقاومة للخدش، وشفافية عالية، وترشيح الطول الموجي لأشعة الليزر، والثنائيات الضوئية، وأنظمة اتصالات الألياف الضوئية. عرض المنتج → ما يجب التحقق منه قبل الطلب
خمس عمليات فحص تكتشف معظم المشكلات قبل أن تصل الكمية إلى طاولة الفحص الواردة.
إذا كانت المواصفات غامضة، فقم بحلها في مرحلة الرسم. أرسل الرسم والكمية إلى فريقنا الهندسي ويمكن تحديد طريقة التوجيه والتشطيب والفحص قبل عرض الأسعار وليس بعد التسليم.
الأسئلة المتداولة
هل رقاقة الياقوت هي نفس نافذة الياقوت؟
لا، التركيز يختلف. يتم الحكم على الرقاقة بناءً على اختلاف السُمك الإجمالي، ونظافة الجسيمات، والسطح الأمامي الجاهز للتصريف، بينما يتم الحكم على النافذة بناءً على ناقل الحركة، وجودة السطح عبر فتحة محددة، وتشطيب الحافة. يمكن قطع كلاهما من نفس الكرة.
هل يمكن إعادة استخدام رقائق الياقوت؟
يمكن إعادة تلميع الرقائق الحاملة والرقائق الوهمية عدة مرات عند التحكم في التلوث. بشكل عام، لا يمكن للرقائق الجاهزة للتحصين التحصيني أن تفعل ذلك، لأن السطح المصقول وميزانية التسطيح يتم استهلاكهما من خلال دورة النمو الأولى.
ما هو السماكة التي يجب أن أطلبها؟
اتبع القطر. تعد نقاط البداية الشائعة حوالي 430 ميكرومترًا عند 2 بوصة، و650 ميكرومترًا عند 4 بوصة، و1 مم أو أكثر عند 6 بوصة. تعمل الرقائق الرقيقة على تقليل الكتلة الحرارية ولكنها تزيد من مخاطر الكسر أثناء المناولة والنقل.
هل أحتاج إلى قطع؟
بالنسبة لـ GaN المزروع بواسطة MOCVD على المستوى c، يعد القطع الصغير بالقرب من 0.2 درجة أمرًا نموذجيًا. إذا لم تكن العملية الخاصة بك حساسة لبنية الخطوة، فمن الأسهل الحصول على الرقاقة الاسمية على المحور وعادة ما تكون أقل تكلفة.
苏公网安备 32041102000130 号